5.加速电压: 0.02 to 30kV ( 10V steps)

6.最大样品直径:200mm径以上

7. 镜筒设计满足铁磁等磁性材料的方便观测

8.镜筒内In-lens 环型SE探测器, EsB能量选择式（带过滤栅网0-1500V）高衬度背散射探测器， 样品室独立的二次电子探测器，AsB4角度选择式背散射电子探测器。

9.投射电子探测器（STEM），含明、暗场模式。

10. 全无油真空系统；样品室真空度：高真空模式优于2×〖10〗^(-4) Pa

11.样品室的宽度和内部直径不小于330nm,高度不小于270mm.样品台为五轴优中心全自动样品台，移动范围指标:130mm（X方向）,130mm(Y方向), 50mm(Z方向)，-3~70°（倾斜），360°（旋转）。

12.配置样品交换室和等离子清洗装置

•能谱仪（EDS）（设备品牌：EDAX， 型号：Octane  Pro）

1.能谱探头类型：场效应管（FET）内置的高速SDD芯片，晶体有效检测面积10mm2, 内置脉冲处理器；

2.可分析元素范围：Be4~U92

3.能量分辨率（Mn-Ka）：优于127eV

4.具备点、线、面扫描分析功能

•波谱仪（WDS）（设备品牌：EDAX， 型号：LEXS）

1.光学系统：采用结构紧凑，采集高效的平行光谱仪；衍射晶体数目：5块晶体，并可同时安装在谱仪中

2.测量能量范围：100 ～2,400eV

3.分辨率：在整个能量范围内，优于20eV

4.探头无需冷却

5.与能谱(EDS)完全集成，可以同时进行EDS和WDS数据的采集

•电子背散射衍射仪（EBSD）（设备品牌：EDAX， 型号：Digiview4）

1.EBSD探头：百万像素（1392 X 1040 ）高分辨率数字CCD相机，马达驱动，配备接触传感器以防相机碰撞。

2.指标化速度：≥150点/秒，在2nA的束流条件下用镍试样测量，并保证>99%的标定成功率。

3.由电子衍射得到的EBSD专用数据库：>300个相结构；支持所有主要的第三方数据库，具有人工建立数据库功能；

•喷涂镀膜仪 （设备品牌：Quorum， 型号：Q150TES）

1. 工作腔室：165mm（外径）×127mm（高）

2.真空系统：旋转机械泵＋涡轮分子泵

3.极限真空度：10-5mbar量级

4.气体需求：溅射工作气体为氮气

靶材：配置Cr、Pt靶各一个，碳制品为高纯度碳棒

设备管理员联系方式:

顾瑞：88015497 gur@sustc.edu.cn