近日，我校电子与电气工程系2018届本科毕业生龚慧敏作为第一作者在微电子器件领域国际顶级学术期刊《IEEE Electron Device Letters》 (Impact Factor: 3.048) 上发表题为《On-chip growth of SnO₂/ZnO core-shell nanosheet arrays for ethanol detection》的研究论文。

SnO2和ZnO示意图

        SnO₂和ZnO是两种在气体传感器领域应用最广的金属氧化物半导体，但在实际应用中，单一金属氧化物制备的气体传感器往往具有响应低、选择性弱和可靠性低等不足。近年来，微机电系统(MEMS)加工技术由于具有尺寸小、利于集成、低功耗、适用于大规模生产等优势，其在气体传感器中的应用迅速发展。本文报道了结合MEMS电极，在硅基衬底上进行SnO₂/ZnO核壳纳米片阵列可控片上制备的“两步法”。首先采用均匀沉淀法在衬底表面合成SnO₂纳米片，然后利用原子层沉积（ALD）技术在纳米片表面沉积ZnO层。与单纯的SnO₂基气体传感器相比，使用SnO₂/ZnO核壳纳米片阵列制备的气体传感器表现出优越的气敏性能，对乙醇的响应灵敏度大大提升，有望应用于酒驾检测等场合。

我校电子与电气工程系本科生龚慧敏

        我校本科生教育注重培养学生的科研动手能力与创新思维能力。龚慧敏同学从大三开始进入实验室参与科研工作，在汪飞副教授和课题组博士后赵长辉的共同指导下开展气体传感器相关研究。龚慧敏同学大学期间还获得南方科技大学大学生创新创业训练计划支持，毕业后计划留校继续攻读研究生。

        本论文研究工作得到了国家自然科学基金、广东省自然科学杰出青年基金、深圳市科技创新委员会支持。 

供稿：电子与电气工程系